Para lograr un dopado exacto, los láseres son especialmente adecuados en comparación con otras técnicas, ya que concentran su energía con elevada precisión. 

Hay ahora por ejemplo, producción en serie por medio de un proceso que conduce los rayos láser sober las zonas de contacto a través de vidrio de silicato de fósforo (PSG). Los láser liberan átomos de fósforo arrojándolos sobre puntos de las obleas, donde se produce una mayor concentración del fósforo. Otro enfoque similar, consistente en la aplicación de un spray de fósforo antes de que el láser siga la traza de los contactos, consiguiendo un mayor dopado n. Otros, emplean la técnica láser para cortar el dibujo de los contactos en la capa de barrera. El posterior proceso de enriquecimiento concentrado de fósforo equivale al proceso estándar de difusión.




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